v jednej kontaktnej službe
Newtek Gas predstavuje špičkový systém výroby kyslíka PSA (adsorpcia tlaku) špecificky skonštruovaného pre prostredia výroby polovodičov. Toto modulárne riešenie poskytuje 99,5% ultra-vysokú čistotu kyslíka s prietokmi v rozmedzí od 5-3000 nm³/h, ktoré obsahuje inteligentné integračné schopnosti pre operácie čistých miestností.
Základné technické výhody
Dual-column 13X molecular sieve system achieves >99,999% O₂ Čistota
± 0. 5% stabilita koncentrácie prostredníctvom analýzy laserového plynu v reálnom čase
0. 1μm viacstupňová filtrácia (Hepa+ULPA) zaisťuje dodržiavanie ISO triedy 3
- 30% nižšia spotreba energie ako konvenčné systémy
- Systém na regeneráciu tepla znižuje tepelné zaťaženie vo FAB prostrediach
- <65dB(A) noise level with acoustic enclosure option
Škálovateľný dizajn namontovaný na šmyku podporuje 20% -200% rozširovanie kapacity
Jednotka na kompresiu vzduchu (technológia zvitku bez oleja)
Purifikačná veža (automatické odstránenie vlhkosti TSA)
Smart Control Cabinet (PLC+HMI s protokolom SECS/GEM)
Aplikácie polovodičových procesov
✔ tepelná oxidácia
Presnosť O₂ Dodávka pre rast hradla (2-200 kontrolu hrúbky))
✔ suché leptanie
Dodávka plynu stabila plazmou pre vzorovanie nanomateriálov
✔ CVD komorná čistenie
Ultra suchý kyslík na prevenciu kontaminácie častíc
✔ Žíhanie oblátky
Kontrola atmosféry s vysokou čistotou pre aktiváciu dopantu
Inteligentný monitorovací systém
Monitorovanie nečistoty v reálnom čase (detekcia na úrovni PPB)
Prediktívna údržba s algoritmom AI (presnosť 98%)
Vzdialená diagnostika prostredníctvom platformy IIOT (OPC UA/MTCONNECT)
Semif 5-0202 plynové normy pre čistenie
Certifikácia elektrickej bezpečnosti CE/UL/ETL
ISO 14644-1 Kompatibilita čistého miestnosti triedy 3
poskytujeme
▲ Globálna technická sieť:24/7 viacjazyčná podpora s<4hr response time
▲ Program optimalizácie celoživotnej optimalizácie:Ročný audit efektívnosti a výmena molekulárneho sita (1- Ročná záruka)
▲Vlastné riešenia:Integrácia na mieru so systémami AMHS/MMC
a návrh systému na regeneráciu plynu
Kontaktujte našich odborníkov na polovodičové plyny
📞 + 8615336587300
📧 sales@newtekgas.com
🌐 www.newtekgas.com
Populárne Tagy: Generátor kyslíka pre polovodičový generátor Číny pre výrobcov polovodičov, dodávateľov
